硅基oled工艺流程

流程如下： 生产流程 流程细节点 1、玻璃输入 检测ITO粗糙度、电阻率，清洗 2、 铬图形制备 涂胶、曝光、显影、刻蚀等 3、ITO图形制备 同2 4、绝缘层制备 涂胶、曝光、显影等(注意无刻蚀步骤) 5、隔离柱制备 同4 6、有机材料蒸镀 真空腔室依次蒸镀各层：空穴注入、传输，发光层，电子注入、传输等层 7、封装 贴干燥片、UV固化 8、切割 9、老化测试 坏点判断、老练等 10、模组流程 芯片压合、模组测试、(偏光片粘合)、综合测试等。