xps分峰拟合原理

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又称ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，中文名：X射线光电子能谱仪。能够分析出了氢，氦以外的所有元素。检出限：测定精确到0.1at%， 空间分辨率为100um， X-RAY的分析深度在1.5nm左右。

一个公式：E(b)= hv-E(k)-W

E(b): 结合能（binding energy）

hv: 光子能量 （photo energy）

E(k): 电子的动能 （kinetic energy of the electron）

W: 仪器的功函数（spectrometer work function）