C4F6是什么气体
全氟丁二烯(C4F6，六氟丁二烯，六氟-1，3-丁二烯)作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，用于半导体产品的等离子介质刻蚀，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。
全氟丁二烯(C4F6)是一种无色无味且不溶于水的气体，沸点为5.9℃。 全氟丁二烯是一种含有六个氟原子和两个碳碳双键的共轭烯烃，作为一种优异的蚀刻气体，由于其独特的F/C比，与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体相比，全氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比，可以蚀刻小于100nm 甚至更窄的电子线路。
此外，C4F6比C4F8具有更高的对光阻和氮化硅选择比，在使用时可以提高蚀刻的稳定性，提高蚀刻速率和均匀度，从而提高产品优良率。
因成双键的碳再成3元环的角张力能太大，故 C4F6 只有全氟丁炔或全氟丁二烯两种物质的分子式符合题意，可视为丁炔或丁二烯的氢全为氟所取代的化合物，其中全氟丁炔可有2个同分异构体，全氟丁二烯则只有1种。C5F8 为全氟戊炔或全氟戊二稀，HCI为氯化氢，HF为氟化氢，PCI为氯化磷，CDA，IA，GN2，DCS等均为专业产品名(含缩写)，建议另行查找。
