C4F6的精选

全氟丁二烯(C4F6，六氟丁二烯，六氟-1，3-丁二烯)作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，用于半导体产品的等离子介质刻蚀，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。全氟丁二烯(C4F6...