全氟乙烷用途 瑞丽范 心理 1.08W 大中小设置文字大小 六氟乙烷,又称全氟乙烷,是一种有机化合物,无色,不可燃气体,不溶于水,溶于乙醇。临界温度19.7℃,常温下(19.7℃)是压缩气体。化学性质不活泼。用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷还可用作绝缘气、等离子蚀刻剂,。也可用作制冷剂、发泡剂。 TAG标签:全氟 乙烷 #