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kmate射频电源设置方法：检查射频电源是否输出正常，入射功率和反射功率比较。如果入射正常，反射很大，检查匹配器。如果入射功率不能达到设定功率，过小，检查射频电源是否烧毁。若射频电源和匹配都工作，将气体流量加大，中和器打...