C4F6的精選

全氟丁二烯(C4F6，六氟丁二烯，六氟-1，3-丁二烯)作爲一種溫室效應GWP極低，綠色環保的高效幹蝕刻氣體，用於半導體產品的等離子介質刻蝕，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性，更適合於高深寬比的蝕刻工藝。全氟丁二烯(C4F6...