kmate的精選

kmate射頻電源設置方法：檢查射頻電源是否輸出正常，入射功率和反射功率比較。如果入射正常，反射很大，檢查匹配器。如果入射功率不能達到設定功率，過小，檢查射頻電源是否燒燬。若射頻電源和匹配都工作，將氣體流量加大，中和器打...