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kt200擴散泵參數
2024-04-04
擴散系主要有四個性能參數,即極限真空、抽氣速率、出口壓強和返油率。(1)極限真空:一般擴散泵的極限真空為0.00IPa。主要與泵液在泵壁温度下的飽和蒸氣壓,擴散泵返油,氣體從前置真空向高真空反擴散在入口處產生分壓強,系壁...
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