我國光刻機最高水平是多少

我國光刻機最高技術仍舊是上海微電子研究所的90nm工藝，它的SMEE200系列光刻機、300系列光刻機、500系列光刻機、600系列光刻機只能夠達到90nm工藝水平。而像江蘇無錫影幻半導體公司、合肥芯碩半導體公司都只能夠擁有200nm工藝的光刻機量產能力。