vmb什么意思

VMB在特气系统中是特气分配到各工艺用气点的气体设备

特气系统是保证半导体、集成电路、太阳能电池、光纤和科研实验室等高新型技术行业中特种气体的安全稳定输送的供气系统

特种气体，简称特气，又名电子特气，是生产半导体、集成电路、太阳能电池等电子产品的特殊气体，这些特殊气体大多都是易燃易爆、有毒、腐蚀性、氧化性等性质的危险性气体，如硅烷SiH4、笑气N2O等。