扩散泵如何检漏 瑞丽范 心理 1.22W 大中小设置文字大小 扩散泵检漏的方法1、扩散泵不给力了 用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限2、系统有微漏 慢慢检漏吧,看看保真空时间达不达标3、箱体太脏 太脏放气量就大了4、前级不行 机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行,可以用电阻规单独检测前级管道。 TAG标签:检漏 #