碳化硅长晶炉原理

原理：

碳化硅加工用长晶炉，包括固定杆、长晶炉主体、缓冲块和温度显示屏，所述固定杆的底侧安装有炉盖，且炉盖的内侧设置有调控板，所述调控板的外壁镶嵌有湿气进口，且调控板的顶端和泄压管相连接，所述长晶炉主体固定于炉盖的底侧，且长晶炉主体的内壁设置有隔热层。

所述长晶炉主体的内侧安装有长晶板，且长晶板的两侧设置有散热口，所述缓冲块设置于散热口的内侧，且缓冲块的中部固定有加热装置，所述温度显示屏镶嵌于加热装置的底端，所述炉盖的外圈镶嵌有密封圈，且密封圈的内侧设置有排湿口。