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硼磷硅酸盐玻璃BPSG材料是有机磷、硼化合物，包括：TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO性质：均为无色有刺激性气味的液体。应用：用于晶圆制造过程中与TEOS混合，通过CVD工艺沉积。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicateGlass，BPSG)，即掺杂了硼和...