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kt200扩散泵参数
2024-04-04
扩散系主要有四个性能参数,即极限真空、抽气速率、出口压强和返油率。(1)极限真空:一般扩散泵的极限真空为0.00IPa。主要与泵液在泵壁温度下的饱和蒸气压,扩散泵返油,气体从前置真空向高真空反扩散在入口处产生分压强,系壁...
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