esi離子源是什麼

esi離子源是離子束濺射(IBS)和離子束加工(IBF)設備的關鍵部件。R&R公司的寬離子束源目前主要有Kaufman離子源、微波ECR離子源和RF離子源。其工作原理是利用氣體放電產生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，並被引出成束，成爲離子源。

主要分爲： 1 kaufman離子源 kaufman離子源是應用較早的離子源，屬於柵格式離子源。

ESI離子源，Electron Spray Ionization的縮寫，意思是電噴霧離子源，是質譜儀中較爲常用的一種離子化方式。