EUV是什麼意思 瑞麗範 心理 2.78W 大中小設置文字大小 極紫外光刻(英語:Extremeultravioletlithography,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長的下一代光刻技術,其波長爲13.5納米,預計將於2020年得到廣泛應用。幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收,因此,EUV光刻機的光學系統只有使用反光鏡 。EUV是指紫外光的意思。極紫外線光刻機是芯片生產工具,是生產大規模集成電路的核心設備,對芯片工藝有着決定性的影響。小於5納米的芯片晶圓,只能用EUV光刻機生產。 TAG標籤:euv #