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合格epa控制區域包括什麼

合格epa控制區域包括什麼

1、溫度:防靜電工作區(EPA)內應裝設溫度調節裝置,以維持其室溫在15~35°C的範圍內。

2、溫度:防靜電工作區(EPA)內應裝設溼度調節裝置,保持其室內相對溼度在45%~75%RH範圍內。

3、氣壓:防靜電工作區(EPA)內的大氣壓力應在86~106kPa範圍內。不能滿足上述要求時,應採取調壓措施。

4、潔淨度(必要時需監控):需使用潔淨環境的防靜電工作區(EPA)加工場所,廠房的空氣潔淨級別按有關工藝設計檔案規定執行。

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