晶片與光刻機區別

晶片與光刻機的區別是，晶片是產品，而光刻機是工具。

晶片是由矽晶圓加工而成的，使用光刻機、蝕刻機、離子注入機等裝置進行多次曝光、蝕洗、離子注入，才能得到一顆晶片。一臺euv光刻機大約每天能加工八百片晶圓，以12寸晶圓尺寸來說，每片五百顆，產能大約是40萬顆晶片。