摻鎵和摻硼的差別
單晶矽摻硼和摻鎵的區別:
摻硼主要因為硼的分凝係數為0.8,接近於1。在拉晶過程中分佈均勻,電阻率容易控制,可做出絕大部分符合產品電阻率效能的單晶矽。
鎵主要因為其對光衰無影響,成為目前單晶矽生產工藝得主要摻雜。可是由於其分凝係數極小,成品電阻率分佈區間大,符合產品電阻率要求部分較少而制約其使用發展。
單晶矽摻硼和摻鎵的區別:
摻硼主要因為硼的分凝係數為0.8,接近於1。在拉晶過程中分佈均勻,電阻率容易控制,可做出絕大部分符合產品電阻率效能的單晶矽。
鎵主要因為其對光衰無影響,成為目前單晶矽生產工藝得主要摻雜。可是由於其分凝係數極小,成品電阻率分佈區間大,符合產品電阻率要求部分較少而制約其使用發展。