電漿鍍膜的原理和特點

原理和特點

蒸發源接陽極，工件接陰極，當通以三至五千伏高壓直流電以後，蒸發源與工件之間產生輝光放電。

由於真空罩內充有惰性氬氣，在放電電場作用下部分氬氣被電離，從而在陰極工件周圍形成一電漿暗區。

帶正電荷的氬離子受陰極負高壓的吸引，猛烈地轟擊工件表面，致使工件表層粒子和髒物被轟濺丟擲，從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。

隨後，接通蒸發源交流電源，蒸發料粒子熔化蒸發，進入輝光放電區並被電離。

帶正電荷的蒸發料離子，在陰極吸引下，隨同氬離子一同衝向工件，當拋鍍於工件表面上的蒸發料離子超過濺失離子的數量時，則逐漸堆積形成一層牢固粘附於工件表面的鍍層。

電漿鍍膜的原理和特點

．原理和特點。

以金屬靶材料( 如金或其合金等) 和樣品臺分別作為陰極和陽極。在真空狀態下，通過兩電極之問的直流電壓使氣體分子電離並且產生輝光放電。帶正電的氣體離子在電場作用下轟擊金屬靶並且將其原子撞出，這一現象稱為電漿濺射( 亦稱為二極濺射) 。