gasbox在半導體中的用途

gasbox  是在半導體中主要用於為設備製程精密供氣的同時還需要防止毒氣、可燃氣的泄漏，具體包含氣動閥、阻絕閥、逆止閥、流量調節閥、墊片、鍍銀螺帽/螺絲等組件，因其有較高的安全氣密性、耐蝕性、小型化和精密性要求，故具有較高的技術門檻和行業壁壘。