全氟乙烷用途 瑞麗範 心理 1.08W 大中小設置文字大小 六氟乙烷,又稱全氟乙烷,是一種有機化合物,無色,不可燃氣體,不溶於水,溶於乙醇。臨界温度19.7℃,常温下(19.7℃)是壓縮氣體。化學性質不活潑。用於微電子工業中作等離子蝕刻氣體以及器件表面清洗、光纖生產、低温製冷還可用作絕緣氣、等離子蝕刻劑,。也可用作製冷劑、發泡劑。 TAG標籤:全氟 乙烷 #