就是電子束流的直徑。不同應用場景裏所使用的電子束的粗細和能量不一樣。同一束電子聚焦和不聚焦也不同。
如,電子探針中電子束直徑0.1~1μm。
電子束焊接時常用的加速電壓範圍為30~150kV,電子束電流20~1000mA,電子束焦點直徑約為0.1~1mm,這樣,電子束功率密度可達106W/cm ² 以上。 
電子束焊中,電子束的焦點直徑約為0.1mm至1mm。
電子在電場中會受力而得到加速、提高能量,產生電子束。
電子束又稱電子注。在真空彙集成束。可採用靜電場聚焦,磁場聚焦等方法。電子顯微鏡和電視機就是利用電子束形成影像的。