什麼是決速反應 瑞麗範 心理 2.95W 大中小設置文字大小 決速反應是指在低的晶圓片温度下,澱積速率隨温度倒數減小而增加,在此區域,工藝中的限制在於某一步反應的速率,該反應可能發生在氣相中也可能在表面。所提供的信息不足以確定氣體是處於化學平衡還是動力學控制的。 TAG標籤:決速 #