極紫外光爲什麼這樣難造

因爲設計產生極紫外光源，必須突破傳統激光器輸出功率低、光刻能量小、紫外光容易被其他材料和空氣吸收等一系列難題。光源工作時，需要以5萬次/秒的頻率，用功率20千瓦的激光來擊打20微米的錫滴，使液態錫汽化爲等離子體，從而產生波長短的極紫外光，才能提升光刻機所能實現的最小工藝節點，使芯片製造朝更高的工藝精度邁進。

研製極紫外光刻機的難度，堪比昔日研製原子彈。目前，世界上還沒有一個國家能獨立研製極紫外光刻機。