icp等離子體溫度一般多少

首先這要看你的等離子體是屬於什麼類型的等離子體

依據等離子體中的重粒子溫度，可以把等離子體分爲兩大類，熱等離子體和冷等離子體。

熱等離子體中，重粒子溫度爲3×103 K—3×104 K，基本上達到了熱力學平衡，所以具有統一的熱力學溫度，可以用熱力學平衡狀態的麥克斯韋速度分佈、波爾茲曼粒子能態機率分佈和沙哈方程等確定等離子體的狀態和參數，例如電弧等離子體、高頻等離子體即屬於熱等離子體。由於熱等離子體的高能量密度，目前主要將其用於材料合成、球化、緻密以及保護性塗層的沉積。

冷等離子體中重粒子溫度只有室溫左右，而電子溫度可達上萬度，所以遠離熱力學平衡狀態，如輝光放電就屬於冷等離子體。冷等離子體主要用於等離子體刻蝕、沉積以及等離子體表面修飾。