清洗單晶爐累嗎

累

單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣爲主）環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。

單晶爐的構成：1、提拉頭：主要由安裝盤、減速機、籽晶腔、劃線環、電機、磁流體、籽晶稱重頭、軟波紋管等其他部件組成

2、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成

3、爐蓋：副室連接法蘭、翻板閥、觀察窗、抽真空管道組成

4、爐筒：包括取光孔。

5、下爐筒：包括抽真空管道。

6、底座機架：全鑄鐵機架和底座。

7、坩堝下傳動裝置：主要由磁流體、電機、坩堝支撐軸、減速機、軟波紋管、立柱、上下傳動支撐架、導軌等部件組成。8、分水器已經水路佈置：包括分水器、進水水管、若干膠管、水管卡套等。

9、氬氣管道佈置：質量流量計、3根以上的柔性管、不鏽鋼管、3個壓力探測器、高密封性卡套等部件。

10、真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵、水環真空泵、過濾器、真空管道、硬波紋管等。

11、電源以及電控櫃：電源櫃、濾波櫃、控制櫃、以及連接線。