多晶硅冷氢化工艺流程

1、

硅粉和催化剂供应:一般的工业硅粉都含有一定的水分，因此在使用前都必须进行烘干。在传统的TCS合成工艺中，一般采用加热N2来进行烘干处理。但考虑到冷氢化需要使用铜基或镍基的催化剂，为了确保催化剂活性，所以基本上采用加热H2来对硅粉进行干燥，并起到进一步活化的作用。干燥后的硅粉与催化剂在硅粉中间仓内混合均匀，然后进入硅粉供应仓。为了保证硅粉的安全、持续加料，一般硅粉供应仓设置为两个，其中一个供应仓先装满混合均匀的硅粉和催化剂，在使用过程中由H2加压均匀送入氢化反应器中。另一个供应仓此时由硅粉中间仓补充硅粉和催化剂，等待下一步交替送料。在这一生产步骤中由于物料均为干燥的粉料，因此除了需要计量配比准确外，并无大的问题。

2、

H2供应:这个生产步骤相对比较简单，回收的H2或是来自电解的H2经过氢压机加压至15～30kg后进入H2缓冲罐，然后再