半导体和芯片的洁净室哪个好 瑞丽范 心理 1.93W 大中小设置文本大小 芯片的洁净室好。半导体(FAB)洁净室中相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区──或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小──而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。 TAG标签:洁净室 芯片 半导体 #