三氯氢硅是

三氯氢硅学名三氯硅烷，化学式SiHCl3，一种无机化合物，为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。

三氯氢硅一般指三氯硅烷，是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。为无色液体，溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂，主要用于制造硅酮化合物。

三氯氢硅是一种用途非常广泛的有机硅单体，主要用于生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的原料，亦是合成有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷最基本的单体。

三氯氢硅又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米³ 能溶于苯、氯仿和二硫化碳。