真空镀膜电子枪常见故障

抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏，应先查出漏点。

如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，重点查找真空泵及阀门看哪里出现泄漏，或是扩散泵油污染或氧化或前级管路密封不好，泵油不足或泵油乳化，轴封漏油等。

漏--分内漏和外漏，较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。

查找小漏和微漏：利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了--也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。最好是反复几次，确认漏点。

内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：

机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。