昆山国产光刻机多少nm 瑞丽范 心理 1.67W 大中小设置文字大小 100nm以下。昆山国产光刻机实际上是上海微电子2.5/3D封装光刻机,昆山同兴达向上海微电子购入两台SMEE封装光刻机,封装精度最高为100nm以下。 TAG标签:nm 昆山 光刻机 国产 #