砷烷和磷烷属于什么气体

磷烷、砷烷均为半导体工艺中非常重要的电子气体，多用于离子注入、掺杂等工艺中。

其中的磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。

砷烷主要用于外延硅的 N 型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓，以及与IIIA/VA族元素形成半导体化合物等。