透射式聚焦系统优缺点

优点：

1、体型小巧，占用空间小2、扫描电镜结构设计简洁，易于维护及保养3、高低压真空设计，可调式电压，为不同样品提供更合适的检测环境4、测量精度高，所得数据值直接保存为图片格式，不会出现丢失，和互联网实现互联，得到了有效性存储5、强大的软件功能。

缺点：

样品上某一点同时穿过的电子方向是不同，这样品上的这一点在物镜1-2倍焦距之间，这些电子通过过物镜放大后重新汇聚，形成该点一个放大的实像，这个和凸透镜成像原理相同。

透射式聚焦头有两个主要优点，即光束易于调整和允许光束有偏心之类的小偏差，即允许光束偏心或角度偏离地射入透镜。透射式系统较为简单，所用光学元件较少。