温度均匀度计算讲解

在任一时刻，工作空间的其他点的温度与工作空间几何中心点温度的*大差值。 就是一组数据的平均值。

1、 测量点数量及位置

温度波动度测量点为设备指示点，温度均匀度测量点数量及位置与温度偏差相同。

2、 检定步骤

温度波动度和温度均匀度的检定步骤与温度偏差同时进行。

3、 数据处理与计算

在进行温度偏差计算的同时，计算温度波动度和温度均匀度。

(1) 温度波动度计算公式：

△ Tf=±(Tfmax-Tfmin)/2

式中：△Tf------温度波动度，℃

Tfmax------设备指示点在30min内的实测*高温度值，℃

Tfmin------设备指示点在30min内的实测*低温度值，℃

(2) 温度均匀度计算公式：

(3) 15

△Tu=【∑(Tjmax-Tjmin)】/15

J=1

式中：△Tu------温度均匀度，℃

Tjmax------各测量点在第j次测量中的实测*高温度值，℃

Tjmin------各测量点在第j次测量中的实测*低温度值，℃。

波动度

温度 ±0.5℃

湿度 ±2.0%R.H

均匀度

温度 ±1.5℃

湿度 ±3%R.H