晶圆搬运机械手原理

伯努利原理。

晶圆搬运机械手的原理是伯努利吸附原理。伯努利原理可以表述为：在水流或气流里，如果速度小，压强就大，如果速度大，压强就小。伯努利机械手的喷气口中喷出的气体遇到圆盘的表面后，气体自圆盘上表面迅速扩散，使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度，此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压，因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆，把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后，机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附，伯努利机械手吸附晶圆，把晶圆从真空卡盘上取下，并带出工艺腔室。