显微镜测量的公式

显微镜物镜分辨距离的计算公式：根据光学衍射理论，衍射光斑直径d＝Kλ／NA，若光斑为爱里圆斑，则强度沿径向降低为最大值的1／2时，对应的K＝0.52，即d＝0.52λNA，焦深ΔZ＝λ／2NA2。可见，当NA值增大时，光斑直径d减小，有利于提高测量头的横向及垂直分辨率，但在物镜直径一定的情况下，此时镜头更为靠近被测工件表面，不利于测量头的调整，且系统波象差会随NA值的增大而加大，故需对NA值进行优化选择。