12寸光刻机多少钱一台 瑞丽范 心理 6.84K 大中小设置文字大小 12寸的1.5亿欧元一台。荷兰阿斯麦尔公司的euv光刻机售价大约1.5亿欧元,不过要说明的是并没有5纳米光刻机,euv光刻机目前处于第一代,也就是13.5纳米极紫外光光源波长本身就是euv光刻机的精度,荷兰阿斯麦尔euv光刻机非常昂贵,每台售价差不多1.5亿欧元。 TAG标签:光刻机 一台 #